臭氧灭菌柜又称臭氧消毒柜或臭氧消毒箱。它是利用臭氧作为杀菌剂进行杀菌消毒，臭氧具有灭菌普广、消杀无死角无残留、无二次污染等特点。臭氧消毒柜分为家用型、商用型、工业型。工业臭氧消毒柜在制药、食品、医疗卫生、等行业广泛应用。

臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属生物化学氧化反应。O3灭菌原理一般有以下三种：

1.臭氧通过氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。

2.直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。

3.透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。

利用臭氧发生器制取臭氧投入密闭的柜体或箱体内对柜内的物品进行消毒灭菌的。