太阳能电池中由于SiO2对于短波长的光波吸收很明显，尤其是500nm以下的光波，这就对太阳能电池吸收效率造成影响。采用热 氧化工艺对太阳能电池表面产生钝化效应可以使生成的表面氧化膜非常薄（<2nm），所以在电极和衬底直接可以形成隧道效应。采取这种工艺可以提高太阳能高的开路电压，以及很好的蓝光响应。也就是说对于蓝光波段有更好的吸收和利用，增大的太阳能电池的效率。